能将涂层涂布的有无和不均匀可视化的检测用光源

    “LDF-NB系列”上市

干涉条纹检测用光源「LDF-NB」系列”、将于 2023 年 6 月 13 日发售。 ※1：通过多个光的重叠、相互增强或减弱的现象称为干涉、由该干涉产生的条纹称为干涉条纹。 「CCS-LT」品牌的 LT 是 Leading Technology 的缩写、旨在挑战先进的技术、并将运用该技术的产品快速提供 给市场。在与传统 CCS 品牌不同的质量管理体系下实现“边跑边想”、提出了灵活运用先进技术的建议。 ■ 产品特点 在制造薄膜、半导体、玻璃等的涂布工序中、为了检测涂布的不均匀和有无、使用了三波长荧光灯和卤素灯等 光源。将这些光源照射到涂层面上时、薄膜各层发生的光的反射会产生干涉条纹、是观察其状态的方法。但是、 这些荧光灯和卤素灯从能源效率等观点出发、制造厂家相继停止生产、寻求替代光源的市场需求正在提高。 为了满足这样的要求、本公司将发售适用于干涉条纹产生的光谱宽度、使用激光二极管的检测用光源 LDF-NB 系列。激光二极管发出的激光波长适合产生干涉条纹、但如果将激光二极管发出的光直接用于检测、产生的斑 点噪声※2 可能会影响检测。LDF-NB 系列通过独特的光学设计降低了散斑噪声、提高了发光面的均匀度（已申 请专利）。 ※2：散斑噪声（speckle noise）…当激光照射到漫射面时、漫射光相互干涉、产生图像的闪烁。 该系列产品有条型形状的发光面尺寸 200mm×20mm、激光的波长有 658nm(红)、520nm(绿)、450nm(蓝)除此之 外还可以混合 658nm、520nm、450nm 的 RGB 的 4 种。另外根据用途不同、尺寸不同、还可进行平面光类形、同 轴光类形等的特别定制。 CCS 公司今后也将以制造、销售检测用光源和电源为核心业务、通过使用检测用相机、镜头、图像判定程序、人工智 能进行检测等、为实现「看得见」这一目标而提出各种方案、为客户提供便利、确立不可替代的解决方案供应商的 地位。

■ 应用例 ・

薄膜和玻璃等的涂层有无、不均匀检测 ・玻璃贴合的不均匀检测 ・晶圆上涂层的不均匀检测